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(1)科技创新差,核心制造技术严重滞后于国外,拥有自主常识产权的产品少,品种不全,产品技术水平与国外相差15年左右。

(2)投资强度偏低,科研设备和生产工艺装备落后,成果水平低,产品质量差。

(3)科技与生产脱节,影响科研成果的转化,综合实力较低,产业发展后劲不足。

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(1)MEMS工艺和新一代固态澳门威尼斯平台微结构制造工艺:深反应离子刻蚀(DRIE)工艺或IGP工艺,封装工艺:如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;新型压力变送器:如用微硅电容澳门威尼斯平台、微硅质量流量澳门威尼斯平台、航空航天用动态澳门威尼斯平台、微澳门威尼斯平台,汽车专用压力、加速度澳门威尼斯平台,环保用微化学澳门威尼斯平台等。

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